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日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

簡要描述:

日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測儀,應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體制造 檢測方式:自動吸引式 檢測原理 熱線型半導(dǎo)體式

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日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

特點

●  小型·輕量

●  可以檢查非常微量的氣體泄漏

●  *適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安

●  搭載的泵有自動停止功能

●  搭載[自動氣體排氣模式]功能

●  保護等級約為IP22(JIS C  0920)※安裝皮套時

 

 

02.產(chǎn)品用途

●  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

●  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進行泄漏檢測

 

日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

產(chǎn)品參數(shù)

型號

XP-703DⅢ

檢測對象氣體

H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3

檢測原理

**型半導(dǎo)體式

采集方式

自動吸引式

可檢測泄漏量

H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7

可檢測濃度

H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7

反應(yīng)時間

10秒以內(nèi)

顯示方式

液晶數(shù)字(手動背景燈)

電源(額定)

5號堿性干電池(LR6)  2節(jié)

電池使用時間※1

約12小時(5號堿性干電池、25℃時)

保護等級※2

相當(dāng)于IP22※3

使用壓力范圍

大氣壓(800~1100kpa)

使用溫濕度范圍

0~40℃/85%RH以下(但不能結(jié)露)

外形尺寸

W38×H130×D32㎜(突出部分除外)

重量

約190g(包括電池、皮套)

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