X熒光元素分析儀的干擾因素主要有三方面 X熒光元素分析儀是一種比較新型的可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線（X-熒光）。
X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100keV的光子。X射線與物質的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。
X熒光元素分析儀的原理基于原子受到X射線的作用，其內層電子被激發，形成空穴，原子處于不穩定的激發態。為了回到穩態，原子的外層電子會躍遷回內層，多余的能量以熒光形式釋放出來，被偵測器檢測到，通過此來做分析。通常，可以將X熒光元素分析儀可分為波長色散性和能量色散性。X熒光元素分析儀在日常的分析工作中，XRF這種分析方法經常會出現共元素干擾。這種共元素干擾的問題主要起源于X熒光射線偵測器對于X熒光射線的分辨率的限制所致，只要是XRF都會遭遇到相同的問題。共元素干擾主要分為三類：兩相近共元素干擾、逃離波峰、加乘波峰。
1、兩相近共元素干擾
由于兩元素在能譜圖上的位置相近，以至于偵測器無法分別出兩者之間的差距。如鉛(La10.55Kev)、砷(Ka10.54Kev)。
2、逃離波峰
由于某元素的濃度異常高，此時發出大量X熒光射線，而偵測器無法及時處理，將在此元素的能譜位置前一個硅Ka的能譜距離多出一根小波峰而造成誤判，但情形極少出現。如錫(Ka25.27Kev)-硅(Ka1.74Kev)=23.53Kev≈鎘(Ka23.17Kev)。
3、加乘波峰
由于某元素的濃度異常高，此時發出大量X熒光射線，而偵測器無法及時處理，將在能譜兩倍的位置上出現一根波峰。如大量的鐵(Ka6.4Kev)，會在能譜12.8Kev處出一根小波峰。造成誤判。但此種情形極為少見。
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